3月に開催の2026年度 精密工学会春季大会学術講演会において、当研究室の榎木 陸人さん（M２）がベストプレゼンテーション賞を受賞しました。

• 榎木 陸人, 小林 幹太朗, 尾上 潤, 樋口 瑠洸, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  D82 高密度水素プラズマを用いたシランフリーな結晶シリコン膜の化学気相形成 −Si基板表面構造が成長挙動に与える影響−

本賞は、優れた講演発表を行った発表者に授与されるものです。今回は、「Si基板表面構造が成長挙動に与える影響」に関する研究発表を行い、その内容が評価され、受賞に至りました。
榎木さん、受賞おめでとうございます！

4/27精密工学会HPにて発表：https://2026-03spring.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/pdf/26-03-BP.pdf
工学研究科HP：https://www.eng.osaka-u.ac.jp/ja/topics/researchresult/29564/