機能材料領域／大参研究室 Functional Materials Area

4月より新たに研究室に加わったメンバーを迎え、5月8日に新入生歓迎遠足を行いました。
午後から、大阪近郊へ遠足に出かけ交流を深めました。

夜には、焼き鳥店にて歓迎会を開催し、新メンバーを交えて和やかなひとときとなりました。

これからの研究活動がより一層充実したものになるよう、研究室一同で取り組んでまいります。

3月に開催の2026年度 精密工学会春季大会学術講演会において、当研究室の榎木 陸人さん（M２）がベストプレゼンテーション賞を受賞しました。

• 榎木 陸人, 小林 幹太朗, 尾上 潤, 樋口 瑠洸, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  D82 高密度水素プラズマを用いたシランフリーな結晶シリコン膜の化学気相形成 −Si基板表面構造が成長挙動に与える影響−

本賞は、優れた講演発表を行った発表者に授与されるものです。今回は、「Si基板表面構造が成長挙動に与える影響」に関する研究発表を行い、その内容が評価され、受賞に至りました。
榎木さん、受賞おめでとうございます！

4/27精密工学会HPにて発表：https://2026-03spring.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/pdf/26-03-BP.pdf
工学研究科HP：https://www.eng.osaka-u.ac.jp/ja/topics/researchresult/29564/

樋口瑠洸さん（D1）筆頭著者の論文が ScienceDirect にて公開されました。

Higuchi, R., Itoh, T., Komatsu, N., Tougo, A., Kakiuchi, H., & Ohmi, H.
Diamond synthesis from solid carbon sources by chemical transport using narrow-gap microwave plasma.
Vacuum, Volume 249, June 2026, 115261

2026年度 精密工学会春季大会学術講演会にて、当研究室の市川 達也さんがポスター発表を行い、企業賞を受賞しました。

精密工学会 2026年度精密工学会春季大会学術講演会 学生研究発表会（2026年3月17日 埼玉大学）　　　

受賞名：日新イオン機器賞
ポスター番号：SP56
講演題目： 高密度水素プラズマ誘起化学輸送法によるダイヤモンド薄膜の形成 -固体原料を用いたボロンドーピングの検討-
発表者：市川 達也

• 

  受賞時の様子

• 

  日新イオン機器賞

本賞は、企業の視点から実用面ならびに学術面で優れていると評価されるポスター発表に対して授与されるものです。
今回は、取り扱いが容易な固体原料を利用したダイヤモンドへのドーピング法の提案と実証結果を評価いただきました。
市川さん、受賞おめでとうございます！

精密工学会HPにて4/6公開：https://2026-03spring.jspe.or.jp/student/
工学研究科HP：https://www.eng.osaka-u.ac.jp/ja/topics/researchresult/29256/

• D3：Leapheng Uon
  
  
• D1：Farrel Dzaudan Naufal・樋口 瑠洸
  
  
• M2：榎木 陸人・太田 雅人・小林 幹太朗・辻本 駿葵・広本 恒輝
  
  
• M1：市川 達也・榎本 光希・尾上 潤・小野 結己・西村 篤人
  
  
• B4：有働 悠介・大西 将生・古林 翼・新屋 洸人、三木 優輝
  
  
• B3：國領 陽向
  
  

皆様、どうぞよろしくお願いいたします。

3月25日、大阪大学卒業式・大学院学位記授与式が挙行されました。
当研究室からも修了生4名・卒業生5名の計9名が学位を取得されました。

修了（M2）：織田さん、樋口さん、水澤さん、安田さん
卒業（B4）：市川さん、榎本さん、尾上さん、小野さん、西村さん

皆様、修了・卒業おめでとうございます‼

同日の夜には、研究室メンバーで 謝恩会＆送別会を開催しました。
学生の皆さんが中心となって準備を進めてくださり、終始あたたかい雰囲気の会となりました。

まず、大参先生より修了生・卒業生に向けて、励ましのお言葉をいただき、続けて、樋口さんの乾杯の音頭で宴会がスタートしました。

宴もたけなわとなり、研究室を巣立つ安田さん・織田さん・水澤さんから、先生方への感謝のお言葉と、社会人としての抱負を述べていただきました。
大参研第1期卒業生となる皆様、今後のご活躍を研究室一同心よりお祈りしています。

修了生・卒業生から、お世話になった先生方へ、日本酒やワインや花束のプレゼントが贈られました。
大参先生、垣内先生、竹内先生、これまで大変お世話になりました。

送別会会場では、参加者全員で記念撮影を行いました。

最後に、今年度をもって大参研究室から異動される竹内先生より、お言葉を頂戴しました。
竹内先生、長年研究室を支えてくだり、本当にありがとうございました。

学位を取得された皆さん、そして竹内先生、これまで研究室に多大な貢献をいただきありがとうございました。
新しい環境でのご活躍を、心よりお祈りしています。
在学生の皆さんも、来年度に向けて引き続き研究活動に励んでいきましょう！

2026年度精密工学会 春季大会学術講演会にて、榎木 陸人さん(M1), 辻本 駿葵さん(M1), 市川 達也さん(B4), 榎本 光希さん(B4), 尾上 潤さん(B4)が口頭発表を行いました。（2026年3月17日－19日 埼玉大学）

• 尾上 潤, 小林 幹太朗, 榎木 陸人, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  D01 水素プラズマにより微細構造が付与されたSi表面における水沸騰挙動の観察
• 辻本 駿葵, 織田 悠雅, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  G04 高密度プラズマによる炭素繊維強化プラスチックの穿孔加工 −ガス流量ならびに圧力が加工特性に及ぼす影響−
• 市川 達也, 樋口 瑠洸, 酒井 佑真, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  D80 高密度水素プラズマ誘起化学輸送法によるダイヤモンド薄膜の形成 −固体原料を用いたボロンドーピングの検討−
• 榎木 陸人, 小林 幹太朗, 尾上 潤, 樋口 瑠洸, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  D82 高密度水素プラズマを用いたシランフリーな結晶シリコン膜の化学気相形成 −Si基板表面構造が成長挙動に与える影響−
• 榎本 光希, Afif Hamzens, Farrel Dzaudan Naufal, Afif Hamzens, 広本 恒輝, 大参 宏昌, 垣内 弘章
  D83 大気圧PECVD法により形成したリチウムイオン電池用厚膜Si負極の構造評価
  

2026年 第73回 応用物理学会春季学術講演会にて、広本 恒輝さん(M1), 尾上 潤さん(B4)が口頭発表を行いました。
（2026年3月15日－18日 東京科学大学 大岡山キャンパス）

• 広本 恒輝, Farrel Dzaudan Naufal1, 榎本 光希, 大参 宏昌, 垣内 弘章
  17p-M_103-11　超高周波励起大気圧プラズマにより作製したリチウムイオン電池用厚膜Si負極の構造評価
• 尾上 潤, 小林 幹太朗, 榎木 陸人, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  15p-S4_203-12　Si表面上のナノ構造が水沸騰挙動に与える影響

2026年度 精密工学会春季大会学術講演会にて、当研究室の榎木 陸人さん(M1), 辻本 駿葵さん(M1), 市川 達也さん(B4), 尾上 潤さん(B4)ががポスター発表を行いました。（2026年3月17日 埼玉大学）

• 辻本 駿葵
  SP48 高密度プラズマによる炭素繊維強化プラスチックの穿孔加工
• 榎木 陸人
  SP53 高密度水素プラズマを用いたシランフリーな結晶シリコン膜の化学気相形成
• 尾上 潤
  SP54 水素プラズマにより微細構造が付与されたSi表面における水沸騰挙動の観察
• 市川 達也
  SP56 高密度水素プラズマ誘起化学輸送法によるダイヤモンド薄膜の形成

10月1日付で教授にご就任された大参宏昌先生 の祝賀会を、研究室メンバーで開催しました。

和やかな雰囲気の中、会の終盤ではサプライズな贈り物、お祝いのメッセージプレートが運ばれてきました。
そして、先生にお祝いのお品物と花束をお渡ししました。

大参先生、改めて教授ご就任おめでとうございます！

学生さん達の素敵な企画もあり、とても良い祝賀会となりました。

メンバー一同、これからも研究活動に励んでまいります。
皆様、引き続き 『機能材料領域／大参研究室』 をどうぞよろしくお願いいたします。

『関西圏半導体人材育成共創拠点の構築』事業のHPにて、当研究室 樋口 瑠洸さん（M2）の国際会議参加報告に関する記事が掲載されました。
掲載記事はこちら→https://enset.eng.osaka-u.ac.jp/news/student-conference-report/

今回の国際会議参加は、事業の一環として参加させていただきました。心よりお礼申し上げます。

台湾で開催された、国際会議TACT 2025にて、当研究室の樋口瑠洸さん（Ｍ2）が口頭発表を行い、 Bronze Awardを受賞しました。

TACT2025 （2025/10/25－10/29　GIS TAIPEI TECH Convention Center　台北科技大学）

受賞名：Bronze Award
講演題目：Diamond synthesis from a solid carbon source by chemical transport using narrow gap microwave plasma
発表者：Rurii Higuchi （樋口 瑠洸）

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  TACT2025 受賞式の様子

Bronze Awardは、優秀な口頭発表を行った学生TOP10％に与えられる賞です。
樋口さん、国際学会での受賞おめでとうございます！
TACT2025掲載：https://tact2025.conf.tw/site/userdata/1617/file/Oral_Award_TACT2025.pdf
大阪大学 工学研究科HP掲載：https://www.eng.osaka-u.ac.jp/ja/topics/researchresult/27447/

9月に開催の精密工学会秋季学大会にて、当研究室の樋口瑠洸さん（M２）がアドバンスト・ベストプレゼンテーション賞、広本恒輝さん（M1）が、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました‼（10/30学会HPにて発表）
精密工学会HP：https://2025-09autumn.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/pdf/25-09-BP.pdf

• 樋口 瑠洸，酒井 佑真，市川 達也，垣内 弘章，大参 宏昌
  ナノプレートダイヤモンドに対するポストアニールの効果
• 広本 恒輝, Afif Hamzens, Farrel Dzaudan Naufal, 榎本 光希, 大参 宏昌, 垣内 弘章
  超高周波励起大気圧プラズマを用いたPECVD法によるリチウムイオン電池用Si厚膜負極の開発
  

樋口さんは、2025年度春季大会／秋季大会の連続受賞となりました。
広本さんは、今大会にて企業賞・BP賞の2つの賞を受賞しました。

樋口さん、広本さん、受賞おめでとうございます！

台湾で開催された、国際会議TACT 2025にて、大参先生が口頭発表を行いました。

TACT2025 （2025/10/25－10/29　GIS TAIPEI TECH Convention Center　台北科技大学）

• Hiromasa Ohmi, Kantaro Kobayashi, Rurii, Higuchi, Rikuto Enoki, and Hiroaki Kakiuchi
  Preparation and characterization of crystal Si film on Si (001) substrate through chemical transport in highpressure
  and narrow gap hydrogen plasma

2025年10月1日付で、当研究室の大参先生が教授に就任されました。
機能材料領域は「大参研究室」として、今後も研究活動に精進してまいります。
引き続き、どうぞよろしくお願い申し上げます。

2025年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室の広本 恒輝さん(M1)がポスター発表を行い、企業賞を受賞しました。

精密工学会 2025年度精密工学会秋季大会学術講演会 学生研究発表会（2025年9月17日 京都大学 吉田キャンパス）　　　

受賞名：JFEテクノリサーチ賞
ポスター番号：SP42
講演題目：超高周波励起大気圧プラズマを用いたPECVD法によるリチウムイオン電池用Si厚膜負極 の開発
発表者：広本 恒輝

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  受賞時の様子

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  JFEテクノリサーチ株式会社賞

広本さん、受賞おめでとうございます‼
精密工学会HP：https://2025-09autumn.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/pdf/25-09-kigyosho.pdf

2025年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室の樋口 瑠洸さん(M2)，水澤直人さん(M2)，広本恒輝さん(M1)が口頭発表を行いました。
（2025年9月17日－19日 京都大学 吉田キャンパス）

• 樋口 瑠洸，酒井 佑真，市川 達也，垣内 弘章，大参 宏昌
  ナノプレートダイヤモンドに対するポストアニールの効果
• 水澤 直人，Leapheng Uon，小野 結己，大参 宏昌，垣内 弘章
  大気圧PECVD 法による透明基材用反射防止コーティングの形成プロセスの研究
• 広本 恒輝, Afif Hamzens, Farrel Dzaudan Naufal, 榎本 光希, 大参 宏昌, 垣内 弘章
  超高周波励起大気圧プラズマを用いたPECVD法によるリチウムイオン電池用Si厚膜負極の開発
  

2025年 第86回応用物理学会秋季学術講演会にて、当研究室の樋口 瑠洸さん(M2)，水澤 直人さん(M2)，小林 幹太朗さん(M1)，広本 恒輝さん(M1)が口頭発表を行いました。（2025年9月7日－10日 名城大学 天白キャンパス）

• 樋口 瑠洸, 酒井 佑真, 市川 達也, 垣内弘章, 大参 宏昌
  狭ギャップマイクロ波プラズマCVDで形成したナノプレートダイヤモンドに対するポストアニールの効果
  
• 小林 幹太朗, 坂本 健, 尾上 潤, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  水素プラズマ誘起ナノ構造がSi表面の撥水性に与える影響
• 広本 恒輝, Afif Hamzens, Farrel Dzaudan Naufal, 榎本 光希, 大参 宏昌, 垣内 弘章
  大気圧PECVD法によるリチウムイオン電池用厚膜Si負極の高能率形成
• 水澤 直人, Leapheng Uon, 小野 結己, 大参 宏昌, 垣内 弘章
  大気圧VHFプラズマを用いた透明基材用反射防止コーティングの形成プロセスの研究
  

当研究室の、樋口 瑠洸さん(M2)，榎木 陸人さん(M1)，太田 雅斗さん(M1)，小林 幹太朗さん(M1) 辻本 駿葵さん(M1)，榎本 光希さん(B4)，小野 結己さん(B4)が、精密工学会 2025年度関西地区定期学術講演会にてポスター発表を行いました。（2025年6月25日 関西大学 千里山キャンパス）

• 太田雅斗，安田怜央，垣内弘章，大参宏昌
  非平衡水素プラズマを利用した Sn 系合金ナノ粒子の高速合成技術の開発
• 樋口瑠洸，酒井佑真，市川達也，垣内弘章，大参宏昌
  狭ギャップマイクロ波プラズマCVD法によるナノプレートダイヤモンドの形成
  ―プロセス圧力と基板温度の影響―
  
• 榎本光希，Afif Hamzens，Farrel Dzaudan Naufal，広本恒輝，大参宏昌， 垣内弘章
  有機 Si 原料を用いた大気圧 PECVD 法による高機能 Si 膜の高能率形成プロセスの研究
  
• 小野結己，水澤直人，Leapheng Uon，大参宏昌，垣内弘章
  超高周波励起大気圧プラズマによるポーラスSiOxコーティングプロセスの研究
  
• 小林幹太朗，尾上潤，坂本健，垣内弘章，大参宏昌
  水素プラズマ誘起ナノテクスチャが付与された Si 表面の撥水性評価
  
• 榎木陸人，小林幹太郎，尾上潤，樋口瑠洸，垣内弘章，大参宏昌
  エピタキシャルシリコン膜の形成に向けた純水素プラズマ化学輸送法の開発
  ―成膜速度が膜構造に与える影響―
  
• 辻本駿葵，織田悠雅，垣内弘章，大参宏昌
  高密度プラズマによる炭素繊維強化プラスチックの加工技術の開発
  ―プラズマ条件と除去特性の相関評価―

2025年3月に開催の、精密工学会春季大会にて、当研究室の織田 悠雅さん(M2) 樋口 瑠洸さん(M2) 小林 幹太朗さん(M1)がベストプレゼンテーション賞を受賞いたしました！（5/27学会HPにて発表）
精密工学会HP：2025年度ベストプレゼンテーション賞

• 織田 悠雅，辻本 駿葵，垣内 弘章，大参 宏昌
  B108 高密度プラズマによる炭素繊維プラスチックの非接触穴あけ加工
  −プラズマ生成条件が加工特性に及ぼす影響−
  
• 樋口 瑠洸，酒井 佑真，垣内 弘章，大参 宏昌
  F89 狭ギャップマイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の形成
  −投入電力とプロセス圧力が膜特性に及ぼす影響−
  
• 小林 幹太朗，坂本 健，細谷 雪菜，垣内 弘章，大参 宏昌
  C105 水素プラズマにより創成されるナノテクスチャ化Si表面における液滴接触角の評価

3名の同時受賞となりました！
織田さん、樋口さん、小林さん、おめでとうございます‼

研究室遠足＆新B4生の歓迎会を行いました！
5/16は、京都府長岡京市へ研究室遠足に出かけました。そして、夜は新B4生の歓迎会を行いました！

1年間、研究室メンバー全員で頑張っていきましょう！
皆さま、どうぞよろしくお願いいたします。

2025年5月2日(金)にいちょう祭と併せて、物理工学科目主催の一般向けイベント「ものづくりの最前線を体験しよう！」が開催されます。
事前予約不要の企画となっておりますので、お気軽にご参加ください！
詳しい内容についてはこちら→http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp/psthomepage/exam-Icho.html

2025年度のメンバーが決まりました。

• D3：Afif Hamzens
  
  
• D2：Leapheng Uon
  
  
• M2：Farrel Dzaudan Naufal・織田 悠雅・樋口 瑠洸・水澤 直人・安田 怜央
  
  
• M1：榎木 陸人・太田 雅人・小林 幹太朗・辻本 駿葵・広本 恒輝
  
  
• B4：市川 達也・榎本 光希・尾上 潤・小野 結己・西村 篤人
  
  
• B3：古林 翼
  
  

皆様、宜しくお願い致します！

本日は、大阪大学卒業式・大学院学位記授与式でした。
M2・B４の皆さま、ご卒業おめでとうございます！
４月から社会人になられる皆さま、更なるご活躍をお祈り申し上げます。
大学院へ進学の皆さま、これからも頑張ってください。
今年度の就職先を更新いたしました。就職先はページはこちら→http://www-ms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/jpn/job.html

2025年度 精密工学会春季大会学術講演会にて、当研究室の安田 怜央さん(M1) 樋口 瑠洸さん(M1) 太田 雅斗さん(B4) 小林 幹太朗さん(B4) 織田 悠雅さん(M1) と大参先生が口頭発表を行いました。（2025年3月17日-19日 千葉工業大学 津田沼キャンパス）

• 安田 怜央，太田 雅斗，垣内 弘章，大参 宏昌
  F84　LSI 配線を指向した高密度水素プラズマ処理による金属固相接合技術の開発
  
• 大参 宏昌，織田 悠雅，辻本 駿葵，垣内 弘章
  F85 反応性高密度プラズマ曝露処理におけるCFRTPからの生成ガス種
  
• 樋口 瑠洸，酒井 佑真，垣内 弘章，大参 宏昌
  F89 狭ギャップマイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の形成
  −投入電力とプロセス圧力が膜特性に及ぼす影響−
  
• 太田 雅斗，安田 怜央，垣内 弘章，大参 宏昌
  C104 高密度水素プラズマ誘起反応を利用したSn系合金ナノ粒子の創成
• 小林 幹太朗，坂本 健，細谷 雪菜，垣内 弘章，大参 宏昌
  C105 水素プラズマにより創成されるナノテクスチャ化Si表面における液滴接触角の評価
• 織田 悠雅，辻本 駿葵，垣内 弘章，大参 宏昌
  B108 高密度プラズマによる炭素繊維プラスチックの非接触穴あけ加工
  −プラズマ生成条件が加工特性に及ぼす影響−
  

2025年度 精密工学会春季大会学術講演会にて、当研究室の樋口 瑠洸さん(M1) 織田 悠雅さん(M1) 太田 雅斗さん(B4) 小林 幹太朗さん(B4) がポスター発表を行いました。（2025年3月17日 千葉工業大学 津田沼キャンパス）

• 樋口 瑠洸
  SP23 狭ギャップマイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の形成
  
• 織田 悠雅
  SP27 高密度プラズマによる炭素繊維プラスチックの非接触穴あけ加工
• 太田 雅斗
  SP36 高密度水素プラズマ誘起反応を利用したSn系合金ナノ粒子の創成
• 小林 幹太朗
  SP69 水素プラズマにより創成されるナノテクスチャ化Si表面における液滴接触角の評価
  

2025年 第72回応用物理学会春季学術講演会にて、当研究室の樋口 瑠洸さん(M1)，安田 怜央さん(M1) が口頭発表を行いました。
（2025年3月14日-17日東京理科大学 野田キャンパス）

• 樋口 瑠洸，酒井 佑真，垣内 弘章，大参 宏昌
  14p-K403-6 狭ギャップマイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド膜の形成
  
• 安田 怜央，太田 雅斗，垣内 弘章，大参 宏昌
  16a-K508-9 高密度水素プラズマを用いた金属固相接合法の開発
  

大参宏昌先生 筆頭の論文『High-Rate Preparation of Fluorocarbon Film Using Tetrafluoromethane Gas and a Graphite Electrode by High-Pressure (100 Torr) Plasma』がECS Journal of Solid State Science and Technology誌に掲載されました‼
掲載URL→https://iopscience.iop.org/article/10.1149/2162-8777/adb0ed

2025/3/11(火)に物理学系専攻精密工学コースでは、大学院進学を検討している大学生や高専生などを対象とした見学説明会を開催します‼
（要予約：3/10（月）10:00迄）
詳細については、こちらをご覧ください。→http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp/psthomepage/exam-GOC.html

当研究室の望月 昇太さん（M2）安田 怜央さん（M1）が、2024年度 精密工学会秋季大会学術講演会にてベストプレゼンテーション賞を受賞しました‼

精密工学会 2024年度精密工学会秋季大会学術講演会（2024年9月4日~9月6日 岡山大学 津島キャンパス）　　　

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：F48
講演題目：リチウムイオン電池⽤Si負極の形成に向けた⼤気圧PECVD法の研究
発表者：望月 昇太

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精密工学会 2024年度精密工学会秋季大会学術講演会（2024年9月4日~9月6日 岡山大学 津島キャンパス）

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：E84
講演題目：⾼密度プラズマ誘起⾦属表⾯ナノ繊維構造を利⽤した⾦属樹脂間の異材接合
発表者：安田 怜央

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https://2024-09autumn.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/pdf/24-09-BP.pdf

おめでとうございます‼

2024年12月22日 (日) に物理学系専攻精密工学コースでは、大学院進学を検討している大学生や高専生などを対象とした見学説明会が開催されます。（要予約12/19まで）
詳しい内容についてはこちらをご覧ください。→http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp/psthomepage/exam-GOC.html

当研究室のAfif Hamzensさん（D3）,Farrel Dzaudan Naufalさん（M2）がICPE2024にて研究発表を行いました。
（2024年10月23日-26日に東北大学<仙台市>）

• Afif Hamzens, Shota Mochizuki, Hiromasa Ohmi and Hiroaki Kakiuchi
  OS20-01 Formation of Heterostructured Si Thick Films in Atmospheric Pressure Very High-Frequency Plasma
• Leapheng Uon, Naoto Mizusawa, Reo Yamauchi, Hiromasa Ohmi and Hiroaki Kakiuchi
  OS20-03 Porous Silicon Oxide Formation Using Atmospheric-Pressure Very High-Frequency Plasma for Single-Layer Anti-Reflection Coatings on Transparent Substrates

10月入学のAfif Hamzensさん、Farrel Dzaudan Naufalさんの学年が上がりました。
Afif Hamzensさん：D2→D3
Farrel Dzaudan Naufaさん：M1→M2
引き続き、宜しくお願い致します。

Membersページはこちらをクリックしてください。→members

当研究室の坂本 健さん（M2）織田 悠雅さん（M1）安田 怜央さん（M1）が、2024年 第85回応用物理学会春季学術講演会にて研究発表を行いました。（2024年9月16日-20日 朱鷺メッセ）

• 坂本 健, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  水素プラズマ誘起シリコンナノコーン構造にポストアニール処理が及ぼす影響
• 織田 悠雅, 上野 瑞樹, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  高水素希釈中圧プラズマCVDにより作製したDLC膜におけるアニール処理の影響
• 安田 怜央, 中村 航己, 太田 雅斗, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  プラズマ形成金属ナノ構造が金属樹脂間接合特性に与える影響
  

当研究室の安田 怜央（M1）さんが、2024年度 精密工学会秋季大会学術講演会 学生研究発表会にて企業賞を受賞しました。

精密工学会 2024年度精密工学会秋季大会学術講演会 学生研究発表会（2024年9月4日 岡山大学 津島キャンパス）　　　

受賞名：マツダ株式会社賞
ポスター番号：SP13
講演題目：高密度プラズマ誘起金属表面ナノ繊維構造を利用した金属樹脂間の異材接合
発表者：安田 怜央

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おめでとうございます‼

当研究室の酒井 佑真さん（M2）坂本 健さん（M2）望月 昇太さん（M2）山内 怜大さん（M2）望月 昇太さん（M2）織田 悠雅さん（M1）安田 怜央さんが、2024年度精密工学会秋季大会学術講演会にて研究発表を行いました。（2024年9月4日-6日 岡山大学 津島キャンパス）

• 酒井佑真，伊藤拓望，垣内弘章，大参宏昌
  マイクロ波水素プラズマ化学輸送法によるダイヤモンド合成における基板種の影響
• 織田悠雅，上野瑞樹，辻本駿葵，垣内弘章，大参宏昌
  中圧プラズマCVD法により高水素希釈下で形成されたダイヤモンドライクカーボン膜の膜中水素の評価
• 望月昇太，Hamzens Afif，Farrel Dzaudan Naufal，兼子　遥，大参宏昌，垣内弘章
  リチウムイオン電池用Si 負極の形成に向けた大気圧PECVD法の研究
• 山内怜大，水澤直人，広本恒輝，大参宏昌，垣内弘章
  Ar ベース大気圧プラズマCVD 法を用いた透明基材用反射防止膜の形成
• 安田怜央，中村航己，太田雅斗，垣内弘章，大参宏昌
  高密度プラズマ誘起金属表面ナノ繊維構造を利用した金属樹脂間の異材接合
• 坂本　健，小林幹太朗，細谷雪菜，垣内弘章，大参宏昌
  中圧水素プラズマにより形成した光無反射Si 表面構造におけるポストアニール効果

当研究室の織田 悠雅さん（M1）安田 怜央さんが、2024年度精密工学会秋季大会学術講演会 学生研究発表会にてポスター発表を行いました。
（2024年9月4日-6日 岡山大学 津島キャンパス）

• 織田 悠雅
  中圧プラズマCVD法により高水素希釈下で形成されたダイヤモンドライクカーボン膜の膜中水素の評価
• 安田 怜央
  高密度プラズマ誘起金属表面ナノ繊維構造を利用した金属樹脂間の異材接合

8/9に開催されたオープンキャンパス時の様子を掲載いたします。
・まずは、スクリーンを使って研究内容を紹介しました。
・院生による大気圧プラズマの一例を実演‼
・最後は、太陽電池の工作にチャレンジしていただきました。

ご参加いただきました皆様、暑い中ありがとうございました‼

『阪大工学部オープンキャンパスキャンパス 2024』が8/9（金）に開催されます。
物理工学科目では、模擬講義・研究室見学ツアー・実験施設見学ツアーを開催します。参加を希望する場合は、事前の申し込みが必要です。
申し込みはこちらから（7月15日(月)23:59締切）→https://www.eng.osaka-u.ac.jp/opencampus/campus/
詳しい内容についてはこちらをご覧ください→http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp/psthomepage/exam-OC.html

当研究室の、織田 悠雅さん(M1)，樋口 瑠洸さん(M1)，水澤 直人さん(M1)，安田 怜央さん(M1)，Farrel Dzaudan Naufalさん(M1) が、精密工学会 2024年度関西地区定期学術講演会にてポスター発表を行いました。（2024年6月21日 立命館大学 大阪いばらきキャンパス）

• 安田怜央，中村航己，太田雅斗，垣内弘章，大参宏昌
  中圧域の水素混合 He プラズマによる貴金属表面ナノファズ構造の形成
• 織田悠雅，上野瑞樹，垣内弘章，大参宏昌
  高水素希釈下での中圧プラズマCVD 法によるよるダイヤモンドライクカーボン膜の高速形成
• Farrel Dzaudan Naufal，Afif Hamzens，Shota Mochizuki，Koki Hiromoto，Hiromasa Ohmi，Hiroaki Kakiuchi
  Study on Tetramethylsilane-based Film Formation using Atmospheric-Pressure Very High-Frequency Plasma
• 水澤直人，山内怜大，Leapheng Uon，大参宏昌，垣内弘章
  Ar ベース大気圧プラズマによるポーラスSiOxコーティングとその反射防止特性
• 樋口瑠洸，酒井佑真，大参宏昌，垣内弘章
  マイクロ波水素プラズマ化学輸送法による各種基板上へのダイヤモンド形成とその構造評価

2024年の業績を追加いたしました。→ Research Results

2024年度のメンバーが決まりました。

• D2：Afif Hamzens
  
  
• D1：Leapheng Uon
  
  
• M2：酒井 佑真・坂本 健・望月 昇太・山内 怜大
  
  
• M1：Farrel Dzaudan Naufal・織田 悠雅・樋口 瑠洸・水澤 直人・安田 怜央
  
  
• B4：太田 雅人・小林 幹太朗・辻本 駿葵・広本 恒輝・細谷 雪菜
  
  
• B3：山田 亮太
  
  

皆様、宜しくお願い致します‼

2023年度修了・卒業学生の就職先を追加いたしました。→就職先一覧

当研究室の酒井 佑真さん（M1）坂本 健さんが（M1）安田 怜央さん（B4）が、2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会にて研究発表を行いました。（2024年3月22日-25日 東京都市大学 世田谷キャンパス）

• 酒井 佑真, 伊藤 拓望, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  25p-61B-8 マイクロ波水素プラズマ化学輸送法を用いたダイヤモンド合成における基板種の影響
• 坂本 健, 野村 俊光, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  24p-12M-1 中圧域水素プラズマを用いたシリコンナノコーン形成における基板特性の影響
• 安田 怜央, 中村 航己, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  24p-12J-5 ナノポーラス化銀表面の形成に及ぼすプラズマ生成電極性状の影響
  

2024/1/20(土)に物理学系専攻 精密工学コースでは、大学院進学を検討している大学生や高専生などを対象とした見学説明会を開催します。
オンラインと対面のハイブリット形式で開催の予定ですので、ご希望のスタイルに合わせて是非ご参加ください。(申込締切：2024/1/18 16:00迄）
詳しい内容や申込については、こちらをご覧ください→http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp/psthomepage/exam-GOC.html

10月より新しいメンバーが加わりました。Farrel Dzaudan Naufal（M1）さんです。また、Afif HamzensさんはD1→D2になりました。
皆様、今後ともよろしくお願いいたします。

Membersページはこちらをクリックしてください。→Members

当研究室の望月 昇太さん（M1），山内 怜大さん（M1）が、2023年度精密工学会秋季大会学術講演会にて研究発表を行いました。
（2023年9月13日-15日 福岡工業大学）

• 望月 昇太, Afif Hamzens, Leapheng Uon, 兼子 遥, 大参 宏昌, 垣内弘章
  H46 有機シリコン原料（S i ( C H₃)₄）を用いた大気圧PECVD 法によるSi 薄膜の低温形成プロセスの研究
• 山内 怜大, 水澤 直人, 広本 恒輝, 大参 宏昌, 垣内 弘章
  H49 大気圧VHF プラズマを用いた2 段階プロセスによるポーラスSiOx コーティングプロセスの研究

8/4に開催されたオープンキャンパス時の様子を掲載いたします。
機能材料研究室が行った内容は、モニターを使って研究内容を説明いたしました。また、実演（10分程度の実験）を行いました。
（Iocプラザにて）

当日は、沢山の方にご参加いただきありがとうございました。

2023年度は、8月4日(金)に来場型のオープンキャンパスが開催されます。 物理工学科目では、模擬講義と研究室見学ツアーが行われます。
詳しくはこちらをご覧ください。→http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp/psthomepage/exam-OC2023.html#id_zoo

当研究室の酒井 佑真さん（M1）が、2023年度 精密工学会関西地方定期学術講演会にてベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました‼

精密工学会 2023年度関西地方定期学術講演会　（2023年6月23日 リーガロイヤルホテル京都）

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞
ポスター番号：P-14
講演題目：水素プラズマ化学輸送法によるナノプレート状ダイヤモンドの形成
発表者：酒井 佑真

• 

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おめでとうございます‼

当研究室の、水澤 直人さん（B4），兼子 遥さん（B4），酒井 佑真さん（M1），坂本 健さん（M1）が、精密工学会 2023年度関西地区定期学術講演会にて研究発表を行いました。（2023年6月23日 リーガロイヤルホテル京都）

• 水澤 直人，山内 怜央，広本 恒輝，大参 宏昌，垣内 弘章
  7-C（P-57）大気圧プラズマ VHF を用いた2 段階プロセスによるポーラスSiOx形成と反射防止コーティングへの応用
• 兼子 遥，Afif Hamzens，望月 昇太，Leapheng Uon，大参 宏昌，垣内 弘章
  10-C（P-8）有機Si原料を用いた大気圧PECVD法によるSiの低温成膜プロセスの研究
• 酒井佑真，伊藤拓望，大参宏昌，垣内弘章
  18-C (P-14）水素プラズマ化学輸送法によるナノプレート状ダイヤモンドの形成
• 坂本健，多村尚起，野村俊光，垣内弘章，大参宏昌
  19-C (P-50）中圧水素プラズマにより形成した光無反射 Si 表面の耐熱性評価
  

2023年度のメンバーが決まりました。

• D3：野村 俊光
  
  
• D1：Afif Hamzens
  
  
• 研究生：Leapheng Uon
  
  
• M2：上野 瑞樹・中村 航己
  
  
• M1：酒井 佑真・坂本 健・望月 昇太・山内 怜大
  
  
• B4：岡本 優希・織田 悠雅・兼子 遥・樋口 瑠洸・水澤 直人・安田 怜央
  
  
• B3：広本 恒輝
  
  

皆様、宜しくお願い致します。

2022年度修了生の就職先を追加いたしました。→就職先一覧

当研究室の多村 尚起さん（M2）上野 瑞樹さんが（M1）安田 怜央さん（B4）が、2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会にて研究発表を行いました。（2023年3月15日-18日 上智大学 四谷キャンパス / ハイブリッド開催）

• 上野 瑞樹, 石崎 千貴, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  （17a-A205-6）中圧狭ギャッププラズマCVDによるDLC膜形成に与える水素希釈の影響
• 多村 尚起, 野村 俊光, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  （17p-A205-3）マイクロ波水素プラズマによるシリコンナノコーン形成における窒素および水蒸気添加の影響
• 安田 怜央, 中村 航己, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  （18a-A408-8）中圧域のHe希釈水素プラズマによる銀ナノファズ形成機構の検討
  

当研究室の望月 昇太さん（B4）が、2023年度 精密工学会春季大会学術講演会にて研究発表を行いました。
（2023年3月14日-16日 東京理科大学 葛飾キャンパス）

• 望月昇太，Hamzens Afif，北村健人，Leapheng Uon，大参宏昌，垣内弘章
  （A62）テトラメチルシラン（TMS）を用いた大気圧PECVD 法によるSiの低温成膜法の研究
  

1/21(土)に物理学系専攻精密工学コースでは、大学院進学を検討している大学生や高専生などを対象とした見学説明会を開催します‼
詳しい内容はこちらをクリックしてください。→http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp/psthomepage/exam-GOC.html

11/28～12/2に奈良県コンベンションセンターで開催されたICPE2022にて、当研究室の野村俊光さん（D2）Afif Hamzensさん（D1）が研究発表を行いました。

• A. Hamzens, K. Kitamura, H. Ohmi, H. Kakiuchi
  （C020）Study on the Formation of Silicon Films from Organosilicon Precursor using Atmospheric-Pressure Very High-Frequency Plasma
• T. Nomura, N. Tamura, H. Kakiuchi, H. Ohmi
  （C054）The impact of air feeding on silicon surface nanostructure formation by
  moderate-pressure hydrogen plasma
  

武田 聖矢さん（M2）が、 2022年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。

精密工学会 2022年度精密工学会秋季大会学術講演会（2022年9月7日～9日，オンライン開催）　　　

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：C33
講演題目：大気圧プラズマを用いた2 段階プロセスによる透明基材用反射防止コーティング
著者：武田聖矢，山内怜大，大谷燎平，大参宏昌，垣内弘章

おめでとうございます‼

精密工学会HP→http://2022-09autumn.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/pdf/22-09-BP.pdf

10/3～10/7に仙台国際センターで開催されたGEC-2022/ICRP-11にて、当研究室の野村俊光さん（D2）が研究発表を行いました。

• Toshimitsu Nomura, Naoki Tamura, Ken Sakamoto, Hiroaki Kakiuchi, Hiromasa Ohmi
  （HW6.00104） Effects of minor addition of N2/O2 impurities on silicon nanostructureformation behavior in hydrogen plasma process
  

10月より新しいメンバーが加わりました。研究生Leapheng Uonさんです。また、Afif HamzensさんはM2→D1になりました。

皆様、今後ともよろしくお願いいたします。Membersページはこちらをクリックしてください。→members

当研究室の北村健人君（M2）武田聖矢君（M2）が、2022年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて研究発表を行いました。
（2022年9月7日-9日 オンライン開催）

• 1. 北村健人，Afif Hamzens，望月昇太，大参宏昌，垣内弘章
  有機シリコン原料を用いた大気圧プラズマCVD 法により形成したSi 薄膜の特性評価
• 2. 武田聖矢，山内怜大，大谷燎平，大参宏昌，垣内弘章
  大気圧プラズマを用いた2 段階プロセスによる透明基材用反射防止コーティング
  

大阪大学SEEDSプログラム（体感科学研究）のため高校生4名が来学し、プラズマ等の実習を行ってもらいました。

テーマ　：「プラズマを応用したものづくりの世界を覗いてみよう」（8/31 9:00-17:00）
内　容　：　テーマに関する概要説明　実習準備　実習
指導教員：　垣内 弘章先生　大参 宏昌先生

参加してくださった高校生の皆様は、熱心に取り組んでくださいました。長時間お疲れ様でした‼

大阪大学SEEDSプログラム→https://www.seeds.osaka-u.ac.jp/

当研究室の望月昇太君（B4）山内怜大君（B4）が、精密工学会 2022年度関西地区定期学術講演会にて研究発表を行いました。
（2022年7月8日 大阪大学会館で開催）

• 1. 望月昇太，Afif Hamzens，北村健人，大参宏昌，垣内弘章
  （11-C P-28）有機Si原料とを用いた大気圧PECVD法によるSiの低温成膜法の研究
• 2. 山内怜大，武田聖矢，大谷燎平，大参宏昌，垣内弘章
  （12-C P-34）大気圧プラズマを用いた透明基材用反射防止コーティング
  

8/5（金曜日）に来場型オープンキャンパスが開催されます‼また、別日程では、オンライン型模擬講義等も開催されます。
どちらも、申し込みが必要となりますので（人数制限有）ご注意ください。
詳しい内容は、こちらをクリックしてください。→http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp/psthomepage/exam-OC.html

今春修了生の関戸拓郎さんが、2022年度 精密工学会春季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。
→http://2022-03spring.jspe.or.jp/bp/

精密工学会 2022年度精密工学会春季大会学術講演会（2022年3月15日-17日 オンライン開催）　　　

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：A108
講演題目：低温高密度プラズマ処理による銀ナノファズ構造の形成
著者：関戸拓郎，中村航己，垣内弘章，大参宏昌

おめでとうございます‼

当研究室の発表論文(T. Nomura et al.）がEditor's Pick（注目論文）に選ばれました。
→https://avs.scitation.org/journal/jvb

• Toshimitsu Nomura, Kenta Kimoto, Hiroaki Kakiuchi, Kiyoshi Yasutake and Hiromasa Ohmi
  Si nanocone structure fabricated by a relatively high-pressure hydrogen plasma in the range of 3.3–27 kPa
  Journal of Vacuum Science & Technology B 40, 032801 (2022)
  

2022年度のメンバーが決まりました。

• D2：野村 俊光
  
  

• M2：Afif Hamzens・伊藤 拓望・北村 健人・武田 聖矢・多村 尚起
  
  

• M1：上野 瑞樹・中村 航己
  
  
• B4：石崎 千貴・大谷 燎平・岡本 優希・酒井 佑真・坂本 健・望月 昇太・安田 怜央・山内 怜大
  
  

皆様、宜しくお願い致します。

4/29(金)に阪大工学部で大学院進学を検討している他大学生や高専生などを対象とした見学説明会が開催されます。
詳しい内容は、こちらをクリックしてください。→ http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp/psthomepage/exam-GOC.html

当研究室の伊藤拓望君（M1）が、2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会にて研究発表を行いました。
（2022年3月22日-26日 オンライン参加 / ハイブリッド開催）

• 1. 伊藤拓望，垣内弘章，大参宏昌
  （25p-E104-17）マイクロ波水素プラズマ化学輸送法によるダイヤモンド合成におけるプロセス圧力の影響
  

当研究室の野村俊光君（D1）関戸拓郎君（M2）谷口大介君（M2）伊藤拓望君（M1）北村健人君（M1）武田聖矢君（M1）多村尚起君（M1）が、2022年度 精密工学会春季大会学術講演会にて研究発表を行いました。（2022年3月15日-17日 オンライン開催）

• 1.谷口大介，長崎 快，垣内弘章，大参宏昌
  溶液析出法によるGeO2ナノ粒子の形態制御
• 2.関戸拓郎，中村航己，垣内弘章，大参宏昌
  低温高密度プラズマ処理による銀ナノファズ構造の形成
  
• 3.多村尚起，野村俊光，垣内弘章，大参宏昌
  中圧水素プラズマを用いたシリコンナノコーン形成プロセスに与える水素ガス中不純物の影響
• 4。 伊藤拓望，垣内弘章，大参宏昌
  マイクロ波水素プラズマ化学輸送法によるダイヤモンド合成—プロセス圧力が結晶性に与える影響—
• 5.野村俊光，垣内弘章，安武 潔，大参宏昌
  高密度中圧プラズマを用いた極薄シリコンウエハ用ゲッタリング層の形成とその特性評価
• 6.武田聖矢，今井祐一，大参宏昌，垣内弘章
  大気圧プラズマを用いた透明基材用反射防止コーティングプロセスの研究
• 7.北村健人，Hamzens Afif，大参宏昌，垣内弘章
  有機シリコン原料を用いた大気圧プラズマ CVD 法による Si薄膜の低温形成の研究
  

3/9(水)に阪大工学部で大学院進学を検討している他大学生や高専生などを対象とした見学説明会が開催されます。
詳しい内容はこちらをクリックしてください。→http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp/psthomepage/exam-GOC.html

2022年1月22日に物理学系専攻の大学院進学説明会/コース配属説明会が開催されます。
詳しい内容はこちらになります。→http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp/psthomepage/exam-GOC.html

大参 宏昌先生が、准教授になられました。
今後とも、宜しくお願い申し上げます。

ホームページをリニューアルしました。
今後とも宜しくお願い致します。

当研究室の今井祐一君（B4）関戸拓郎君（M2）多村尚起君（M1）中塚宏学君（M2）伊藤拓望君（M1）が、2021年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて研究発表を行いました。（2021年9月21日-27日 オンライン開催）

• 1. 今井祐一，武田聖矢，大参宏昌，垣内弘章
  大気圧 VHF プラズマ CVD による SiOx 機能性コーティングプロセスの研究
  
• 2. 関戸拓郎，安東卓洋，垣内弘章，大参宏昌
  希ガス希釈水素プラズマによる銀表面へのナノ構造形成
  
• 3. 多村尚起，野村俊光，垣内弘章，大参宏昌
  高密度中圧水素プラズマを用いたシリコン表面ナノコーンの作製と反射特性評価
  
• 4. 中塚宏学，田中　領，垣内弘章，大参宏昌
  高密度プラズマ援用化学輸送法による窒化炭素膜の形成
  
• 5. 伊藤拓望，小松直人，垣内弘章，大参宏昌
  マイクロ波水素プラズマ化学輸送法によるダイヤモンド合成—ギャップと基板温度が結晶性に与える影響—
  

当研究室の野村俊光君（D1）関戸拓郎君（M2）中塚宏学君(M2)が、2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会にて研究発表を行いました。
（2021年9月10日-9月13日 オンライン開催）

• 1.関戸 拓郎, 安東 卓洋, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  （12p-N102-1）局在水素プラズマによるナノポーラス銀表面形成における希ガス希釈の影響
  
• 2.中塚 宏学, 田中 領, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  （12p-N102-10）窒素プラズマ援用化学輸送法による窒化炭素膜の形成
  
• 3.野村 俊光, 多村 尚起, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  （13p-N323-9）水素プラズマにより形成したナノコーン構造シリコン表面の光反射特性
  

大阪府立大手前高等学校の生徒さんが研究室見学に来られました。（当日の様子）

当研究室のAfif Hamzens君（M1），武田聖矢君（M1），多村尚起君（M1）が、2021年度 精密工学会関西地方定期学術講演会にて研究発表を行いました。　

• 1.武田聖矢，前川将哉，大参宏昌，垣内弘章
  大気圧プラズマを用いたSiOｘ機能性コーティングプロセスの研究
  
• 2.Afif Hamzens，Kento Kitamura，Hiromasa Ohmi，Hiroaki Kakiuchi
  Study on the Formation of Silicon Films from Organosilicon Precursor using Atmospheric -Pressure Very High-Frequency Plasma
• 3.多村尚起，野村俊光，垣内弘章，大参宏昌
  高密度中圧水素プラズマを用いたシリコンナノコーン創成－結晶面方位とナノ構造の相関－
  

中塚 宏学君（M2）が、 2021年度 精密工学会春季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。

精密工学会 2021年度精密工学会春季大会学術講演会（2021年3月16日～22日，オンライン開催）　　　

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：F0204
講演題目：固体ソース支援プラズマ化学気相成長法による高撥水フルオロカーボン膜の形成
著者：中塚宏学, 田中領, 垣内弘章, 安武潔, 大参宏昌

おめでとうございます‼

2021年度のメンバーが決まりました。

• D1：野村 俊光
  
  

• M2：関戸 拓郎・谷口 大介・中塚 宏学
  
  

• M1：Afif Hamzens・伊藤 拓望・北村 健人・武田 聖矢・多村 尚起
  
  
• B4：石崎 千貴・今井 祐一・上野 瑞樹・大谷 燎平・長崎 快・中村 航己・新田 健
  
  
• B3：安田 怜央

皆様、宜しくお願い致します。

安武 潔教授が退官され、本年度から研究室の名前が「機能材料研究室」となりました。

安武先生、長い間お疲れ様でした。今まで、多くのご指導を頂きありがとうございました。心より感謝申し上げます。

縄田慈人君が、 ICPE2020（The 18th International Conference on Precision Engineering）でYoung Researcher Award を受賞しました。

ICPE2020（The 18th International Conference on Precision Engineering）（2020年11月23日～27日，オンライン開催）

受賞名：Young Researcher Award
講演番号：F-1-5
講演題目： Study on the growth of silicon films at low temperatures in atmospheric-pressure plasma excited by very high-frequency power
著者：Shigeto Nawata, Masaya Maegawa, Hiromasa Ohmi, Hiroaki Kakiuchi, Kiyoshi Yasutake

おめでとうございます‼

縄田慈人君が 精密工学会2019年度 関西地方定期学術講演会にて、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました。

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞

講演題目：大気圧プラズマCVDによるプラスチックフィルム上へのSi成膜と膜構造評価
ポスター番号：P – 30
著者：縄田慈人, 前川健史, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武潔

おめでとうございます‼

小松直人君が 精密工学会2019年度 関西地方定期学術講演会にて、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました。

精密工学会 2019年度関西地方定期学術講演会（2019年6月28日，大阪大学）

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞
ポスター番号：P-20
講演題目：マイクロ波水素プラズマ化学輸送法によるダイヤモンド合成における成膜雰囲気中不純物の影響
著者：小松直人, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武潔

 

おめでとうございます‼

　田中智之君が2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました。

2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会（2017年9月20日-22日，大阪大学）

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞
ポスター番号：G24
講演題目：高濃度CF4ガスを用いた高圧プラズマCVDによるフルオロカーボン膜の形成
著者：田中智之，木倉丈，竹本啓輝，垣内弘章，安武潔，大参宏昌，阿部淳子，酒井伊都子，林久貴，福原成太

武居則久君が2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。
　　

2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会（2017年9月20日-22日，大阪大学）

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：G28
講演題目：狭ギャップ水素プラズマを用いたオンサイト生成SiH4によるシリコンエピ成長
著者：武居則久，垣内弘章，安武潔，大参宏昌

 

木元雄一朗君が2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。

2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会（2017年9月20日-22日，大阪大学）

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：G08
講演題目：低温薄膜トランジスタに向けた大気圧プラズマCVDによるSi0Xゲート絶縁膜形成プロセスの研究
著者：木元雄一朗，寺脇功士，鎌田航平，山崎啓史，大参宏昌，垣内弘章，安武潔

大参先生が2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、ベストオーガナイザー賞を受賞しました。

2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会（2017年9月20日-22日，大阪大学）

受賞名：・ベストオーガナイザー賞
分類コード：B29
セッション名：プラズマ加工・材料プロセス
オーガナイザー：大参宏昌
受賞部門：OS新設部門

おめでとうございます‼

　武居則久君が第78回応用物理学会秋季学術講演会にて、講演奨励賞を受賞しました

2017年 第78回 応用物理学会秋季学術講演会（2017年9月5日-8日，福岡国際会議場）

受賞名：講演奨励賞
講演番号：6p-C21-3
講演題目：高密度水素プラズマによるオンサイト生成シランを用いたシリコンエピ成長とドーピング
著者：武居則久，垣内弘章，安武潔，大参宏昌

竹本啓輝君が台湾で開催された国際学会でPoster Award of Excellence (Symposium B)を受賞しました。

TACT 2015 International Thin Films Conference　National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan (Nov. 15-18, 2015)

受賞名：Poster awards of Excellence（Symposium B）
講演題目：Impact of catalytic metal element on silicon nanowire growth by high-pressure hydrogen plasma chemical transport
著者：H. Takemoto, Y. Ishikawa, H. Kakiuchi, K. Yasutake and H. Ohmi　

坂口尭之君が、2015年度 精密工学会春季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました

2015年度 精密工学会春季大会学術講演会（2015年3月17日，東洋大学）

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
ポスター番号：S - 03
講演題目：大気圧VHFプラズマによるSiの低温・高速成膜技術の開発－TFT特性に対する電極長さの影響－
著者：坂口尭之，林威成，田牧祥吾，山田高寛，大参宏昌，垣内弘章，安武潔

山田浩輔君が、精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会にて、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました

精密工学会 2013年度関西地方定期学術講演会（2013年6月14日，大阪工業大学）

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞
ポスター番号：P - 35
講演題目：高圧マイクロ波水素プラズマによるシリコン高速エッチングにおける発光分光計測
著者：山田浩輔, 山田高寛, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武潔

藤原裕平君が、精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会にて、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました
　　　　

精密工学会 2013年度関西地方定期学術講演会（2013年6月14日，大阪工業大学）

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞
ポスター番号：P－4
講演題目：薄型結晶Si太陽電池のための大気開放プラズマ酸化プロセスの開発
著者：藤原裕平, 金谷優樹, 山田高寛, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武潔

研究室OBの舩木毅さんが第27回（2009年秋季）第70回応用物理学会学術講演会にて、応用物理学会講演奨励賞を受賞しました。

2009年秋季　第70回応用物理学会学術講演会（富山大学）

受賞名：応用物理学会講演奨励賞
講演番号：10p-N-4
講演題目：狭ギャップマイクロ波水素プラズマにより高速エッチングされたSi表面の評価
著者：舩木毅，中濱康治，棱野勝，安武　潔，大参宏昌

後藤晃君が、2009年応用物理学会春季大会にて、講演奨励賞を受賞しました。

鎌田君が、GCOE国際シンポジウムで、ベストポスター賞を受賞しました。

「精密工学会誌」5月号に研究室紹介記事が掲載されました。

垣内先生がABCラジオ「どんなんかな？阪大工学部」に出演しました。

岸本君が、2007年応用物理学会秋季大会にて、講演奨励賞を受賞しました。

岩本君が、チェコで開催された国際ワークショップで、 Best poster award を受賞しました。

International Workshop for Students and Young Researchers 23-25 October 2007, Brno, Czech Republic

受賞名：Best poster award
発表題目：“Sterilization process of B. atrophyaeus using atmospheric pressure mist plasma”New Perspectives of Plasma Science and Technology

「応用物理」9月号の表紙に、多孔質カーボン電極による大気圧プラズマ発光の写真が掲載されました。

大参先生の大気圧プラズマ殺菌装置が日経産業新聞に掲載されました。