武居則久君が第78回応用物理学会秋季学術講演会にて、講演奨励賞を受賞しました

2017年 第78回 応用物理学会秋季学術講演会（2017年9月5日-8日，福岡国際会議場）

受賞名：講演奨励賞
講演番号：6p-C21-3
講演題目：高密度水素プラズマによるオンサイト生成シランを用いたシリコンエピ成長とドーピング
著者：武居則久，垣内弘章，安武潔，大参宏昌