坂口尭之君が、2015年度 精密工学会春季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました

2015年度 精密工学会春季大会学術講演会（2015年3月17日，東洋大学）

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
ポスター番号：S - 03
講演題目：大気圧VHFプラズマによるSiの低温・高速成膜技術の開発－TFT特性に対する電極長さの影響－
著者：坂口尭之，林威成，田牧祥吾，山田高寛，大参宏昌，垣内弘章，安武潔