山田浩輔君が、精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会にて、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました

精密工学会 2013年度関西地方定期学術講演会（2013年6月14日，大阪工業大学）

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞
ポスター番号：P - 35
講演題目：高圧マイクロ波水素プラズマによるシリコン高速エッチングにおける発光分光計測
著者：山田浩輔, 山田高寛, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武潔