当研究室のAfif Hamzens君（M1），武田聖矢君（M1），多村尚起君（M1）が、2021年度 精密工学会関西地方定期学術講演会にて研究発表を行いました。　

• 1.武田聖矢，前川将哉，大参宏昌，垣内弘章
  大気圧プラズマを用いたSiOｘ機能性コーティングプロセスの研究
  
• 2.Afif Hamzens，Kento Kitamura，Hiromasa Ohmi，Hiroaki Kakiuchi
  Study on the Formation of Silicon Films from Organosilicon Precursor using Atmospheric -Pressure Very High-Frequency Plasma
• 3.多村尚起，野村俊光，垣内弘章，大参宏昌
  高密度中圧水素プラズマを用いたシリコンナノコーン創成－結晶面方位とナノ構造の相関－