当研究室の今井祐一君（B4）関戸拓郎君（M2）多村尚起君（M1）中塚宏学君（M2）伊藤拓望君（M1）が、2021年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて研究発表を行いました。（2021年9月21日-27日 オンライン開催）

• 1. 今井祐一，武田聖矢，大参宏昌，垣内弘章
  大気圧 VHF プラズマ CVD による SiOx 機能性コーティングプロセスの研究
  
• 2. 関戸拓郎，安東卓洋，垣内弘章，大参宏昌
  希ガス希釈水素プラズマによる銀表面へのナノ構造形成
  
• 3. 多村尚起，野村俊光，垣内弘章，大参宏昌
  高密度中圧水素プラズマを用いたシリコン表面ナノコーンの作製と反射特性評価
  
• 4. 中塚宏学，田中　領，垣内弘章，大参宏昌
  高密度プラズマ援用化学輸送法による窒化炭素膜の形成
  
• 5. 伊藤拓望，小松直人，垣内弘章，大参宏昌
  マイクロ波水素プラズマ化学輸送法によるダイヤモンド合成—ギャップと基板温度が結晶性に与える影響—