当研究室の野村俊光君（D1）関戸拓郎君（M2）谷口大介君（M2）伊藤拓望君（M1）北村健人君（M1）武田聖矢君（M1）多村尚起君（M1）が、2022年度 精密工学会春季大会学術講演会にて研究発表を行いました。（2022年3月15日-17日 オンライン開催）

• 1.谷口大介，長崎 快，垣内弘章，大参宏昌
  溶液析出法によるGeO2ナノ粒子の形態制御
• 2.関戸拓郎，中村航己，垣内弘章，大参宏昌
  低温高密度プラズマ処理による銀ナノファズ構造の形成
  
• 3.多村尚起，野村俊光，垣内弘章，大参宏昌
  中圧水素プラズマを用いたシリコンナノコーン形成プロセスに与える水素ガス中不純物の影響
• 4。 伊藤拓望，垣内弘章，大参宏昌
  マイクロ波水素プラズマ化学輸送法によるダイヤモンド合成—プロセス圧力が結晶性に与える影響—
• 5.野村俊光，垣内弘章，安武 潔，大参宏昌
  高密度中圧プラズマを用いた極薄シリコンウエハ用ゲッタリング層の形成とその特性評価
• 6.武田聖矢，今井祐一，大参宏昌，垣内弘章
  大気圧プラズマを用いた透明基材用反射防止コーティングプロセスの研究
• 7.北村健人，Hamzens Afif，大参宏昌，垣内弘章
  有機シリコン原料を用いた大気圧プラズマ CVD 法による Si薄膜の低温形成の研究