当研究室の北村健人君（M2）武田聖矢君（M2）が、2022年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて研究発表を行いました。
（2022年9月7日-9日 オンライン開催）

• 1. 北村健人，Afif Hamzens，望月昇太，大参宏昌，垣内弘章
  有機シリコン原料を用いた大気圧プラズマCVD 法により形成したSi 薄膜の特性評価
• 2. 武田聖矢，山内怜大，大谷燎平，大参宏昌，垣内弘章
  大気圧プラズマを用いた2 段階プロセスによる透明基材用反射防止コーティング