10/3～10/7に仙台国際センターで開催されたGEC-2022/ICRP-11にて、当研究室の野村俊光さん（D2）が研究発表を行いました。

• Toshimitsu Nomura, Naoki Tamura, Ken Sakamoto, Hiroaki Kakiuchi, Hiromasa Ohmi
  （HW6.00104） Effects of minor addition of N2/O2 impurities on silicon nanostructureformation behavior in hydrogen plasma process