11/28～12/2に奈良県コンベンションセンターで開催されたICPE2022にて、当研究室の野村俊光さん（D2）Afif Hamzensさん（D1）が研究発表を行いました。

• A. Hamzens, K. Kitamura, H. Ohmi, H. Kakiuchi
  （C020）Study on the Formation of Silicon Films from Organosilicon Precursor using Atmospheric-Pressure Very High-Frequency Plasma
• T. Nomura, N. Tamura, H. Kakiuchi, H. Ohmi
  （C054）The impact of air feeding on silicon surface nanostructure formation by
  moderate-pressure hydrogen plasma