当研究室の望月 昇太さん（B4）が、2023年度 精密工学会春季大会学術講演会にて研究発表を行いました。
（2023年3月14日-16日 東京理科大学 葛飾キャンパス）

• 望月昇太，Hamzens Afif，北村健人，Leapheng Uon，大参宏昌，垣内弘章
  （A62）テトラメチルシラン（TMS）を用いた大気圧PECVD 法によるSiの低温成膜法の研究