2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会にて、当研究室の学生3名が研究発表を行いました。
当研究室の多村 尚起さん(M2)上野 瑞樹さんが(M1)安田 怜央さん(B4)が、2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会にて研究発表を行いました。(2023年3月15日-18日 上智大学 四谷キャンパス / ハイブリッド開催)
- 上野 瑞樹, 石崎 千貴, 垣内 弘章, 大参 宏昌
(17a-A205-6)中圧狭ギャッププラズマCVDによるDLC膜形成に与える水素希釈の影響 - 多村 尚起, 野村 俊光, 垣内 弘章, 大参 宏昌
(17p-A205-3)マイクロ波水素プラズマによるシリコンナノコーン形成における窒素および水蒸気添加の影響 - 安田 怜央, 中村 航己, 垣内 弘章, 大参 宏昌
(18a-A408-8)中圧域のHe希釈水素プラズマによる銀ナノファズ形成機構の検討