当研究室の、水澤 直人さん（B4），兼子 遥さん（B4），酒井 佑真さん（M1），坂本 健さん（M1）が、精密工学会 2023年度関西地区定期学術講演会にて研究発表を行いました。（2023年6月23日 リーガロイヤルホテル京都）

• 水澤 直人，山内 怜央，広本 恒輝，大参 宏昌，垣内 弘章
  7-C（P-57）大気圧プラズマ VHF を用いた2 段階プロセスによるポーラスSiOx形成と反射防止コーティングへの応用
• 兼子 遥，Afif Hamzens，望月 昇太，Leapheng Uon，大参 宏昌，垣内 弘章
  10-C（P-8）有機Si原料を用いた大気圧PECVD法によるSiの低温成膜プロセスの研究
• 酒井佑真，伊藤拓望，大参宏昌，垣内弘章
  18-C (P-14）水素プラズマ化学輸送法によるナノプレート状ダイヤモンドの形成
• 坂本健，多村尚起，野村俊光，垣内弘章，大参宏昌
  19-C (P-50）中圧水素プラズマにより形成した光無反射 Si 表面の耐熱性評価