当研究室の望月 昇太さん（M1），山内 怜大さん（M1）が、2023年度精密工学会秋季大会学術講演会にて研究発表を行いました。
（2023年9月13日-15日 福岡工業大学）

• 望月 昇太, Afif Hamzens, Leapheng Uon, 兼子 遥, 大参 宏昌, 垣内弘章
  H46 有機シリコン原料（S i ( C H₃)₄）を用いた大気圧PECVD 法によるSi 薄膜の低温形成プロセスの研究
• 山内 怜大, 水澤 直人, 広本 恒輝, 大参 宏昌, 垣内 弘章
  H49 大気圧VHF プラズマを用いた2 段階プロセスによるポーラスSiOx コーティングプロセスの研究