武居則久君が2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。
　　

2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会（2017年9月20日-22日，大阪大学）

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：G28
講演題目：狭ギャップ水素プラズマを用いたオンサイト生成SiH4によるシリコンエピ成長
著者：武居則久，垣内弘章，安武潔，大参宏昌